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腾博会官网上海首台前道ArF工藝塗膠顯影設備Ultra LITH順利出機
濕法設備出貨量再創新高 ,突破三千腔大關
慶祝腾博会官网上海ECP設備500電鍍腔順利交付 !
腾博会官网上海前道銅互連電鍍設備榮獲第五屆「集成電路產業技術創新獎」
腾博会官网上海與客戶簽訂Ultra ECP ap高速電鍍設備批量採購合同
腾博会官网上海18腔300mm Ultra C VI單晶圓清洗設備投入量產