腾博会官网上海前道銅互連電鍍設備榮獲第五屆「集成電路產業技術創新獎」
2022-7-11 9:49:52
7月9日，腾博会官网上海與國內主流集成電路製造廠商上海華力申報的“前道銅互連電鍍設備”取得中國集成電路創新聯盟主辦的第五屆“集成電路產業技術創新獎”的成果產業化獎項。這份榮譽肯定了該項目在集成電路技術創新和產業化方面取得的突出業績。
腾博会官网上海自主開發了針對65-22nm及以下工藝技術節點的晶片製造前道銅互連鍍銅技術及設備（Ultra ECP map），採用獨家專利的多陽極局部電鍍技術的新型電流控制方法，實現了在超薄籽晶層上完成無空穴填充，主要應用於集成電路雙大馬士革互連結構金屬銅層沉積應用，除了適用於65-28nm工藝技術節點之外，還可以拓展至更先進制程的鈷電鍍工藝應用。
腾博会官网上海的Ultra ECP map設備是上海研發的首台前道銅互連電鍍設備，繼美國Lam、AMAT後全球第三家擁有該技術的設備商。现在該設備產業化成果頗豐，已進入多家邏輯電路客戶和存儲電路客戶端，顺利获得了55/40/28/22nm工藝性能驗證，已進入量產驗證，並已部分實現產線量產。
該設備從開發到成功產業化，離不開國內主流集成電路製造廠商上海華力的大力協助。腾博会官网上海與上海華力的工藝和設備團隊通力合作，並肩作戰，顺利获得一年半的數十輪的測試，跑通了數千片非圖形片和近500片圖形片的測試驗證，先後在硬件、軟件、工藝方面進行了百餘項改進；同時，國內大客戶以大生產線量產的標準要求腾博会官网上海的電鍍設備，極大促進和幫助了設備和工藝快速改進。顺利获得該設備的開發，雙方走出了一條上海發明、上海研發、上海驗證、上海大生產的創新道路，是國內集成電路設備企業和集成電路製造企業攜手創新，合作共贏，引領高端集成電路設備技術开展的典範。
