腾博会官网半導體設備（上海）股份有限公司(以下簡稱腾博会官网上海)（科創板股票代碼：688082），一家為半導體前道和先進晶圓級封裝（WLP）應用给予晶圓工藝解決方案的卓越設備供應商，於今日宣佈其已接到29台Ultra C wb槽式濕法清洗設備的批量採購訂單，該設備可應用於加工300mm晶圓，其中16台設備的重複訂單來自同一家中國國內代工廠，重複訂單的目的是支持該工廠的擴產。這批設備計劃從2022年開始分兩個階段發貨。
Ultra C wb槽式濕法清洗設備的主要清洗應用包括爐管前清洗、RCA清洗、光阻去除、氧化層刻蝕、氮化矽去除，以及晶圓回收工藝中前段FEOL多晶矽/氧化矽層剝離去除，和後段BEOL金屬層剝離去除。可以配置獨立的多種化學液清洗（MCR）模塊，按不同的工藝組合在該模塊中依次使用多種清洗藥液，如SC1、SC2、DHF、DIO3、DIW等。清洗效果好，避免交叉污染，成本低。Ultra C wb槽式濕法清洗設備有效利用化學藥液和去離子水（DIW），環境友好。且憑藉其精巧的模塊化設計，佔用空間小的優點，可以在生產車間靈活配置。
